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　　1995年，华裔科学家周郁（Stephen Chou）讲授初次提出纳米压印观点，从此揭开了纳米压印制作工夫的推敲序幕。纳米压印工夫是当今最具前景的纳米制作工夫之一，很大概成为来日微纳电子与光电子财富的根底工夫。目前，纳米压印工夫正在邦际半导体远景（ITRS）中被列为下一代32nm、22nm和16nm节点光刻工夫的代外之一。邦外里半导体筑造制作商、质料商以及工艺商纷纷初步涉足这一规模，短短25年，仍然得到很大转机。

　　纳米压印工夫最初通过接触式压印达成图形的挪动，相当于光学曝光工夫中的曝光和显影工艺流程，然后诈欺刻蚀通报工艺将机合挪动到其他任何质料上。纳米压印工夫将新颖微电子加工工艺交融于印刷工夫中，战胜了光学曝光工夫中光衍射气象形成的阔别率极限题目，展现了超高阔别率、高功用、低本钱、适合工业化分娩的怪异上风，从出现至今，平素受到学术界和财富界的高度珍贵。以是，纳米压印工夫被称为微纳加工规模中第三代最有前景的光刻工夫之一。

　　纳米压印工夫正在电子学如复合塑料电子学、有机光电子筑造南宫、红外纳米电子器件，光子学如有机激光筑造、共轭光子、非线性光学蚁合物纳米机合、高阔别率有机发光二极管、衍射光学元件、宽波段偏振器，磁性筑造如高密度图案磁性介质和高容量光盘以及生物学如 DNA 纳流控通道、纳米标准卵白质捉拿、细胞上的纳米机合效应等规模都具有普遍的运用。

　　当前，纳米压印光刻（NIL）仍然从一种基于测验室的推敲发达到一种壮健的高容量制作步骤，它或许餍足当今制制微纳器件的须要，万分是半导体工夫日益繁复的寻事。纳米压印相较于光刻工夫，这项工夫具有其怪异的上风：

　　（1）纳米压印正在方便3D微纳米机合图形的批量加工上有上风，咱们广泛所说的光刻工夫都是基于二维平面的加工格式，纵然是咱们能够通事后续的少许辅助工艺技巧（如遴选性刻蚀、热回流）来得回少许3D或者确实的说是2.5D机合（如金字塔机合、微针机合、微透镜机合等），可是这些技巧的特质是可控性不高（或者说工艺窗口对比小）。当然咱们能够操纵相仿激光或者电子束直写的的灰度光刻的格式来做少许闪动光栅、菲涅尔透镜等机合，可是其难度如故特地高、功用和加工危害也都极度高。

　　（2）大面积方便图形反复机合的加工、本钱操纵厉苛，这里咱们常睹的方便反复机合如：纳米柱阵列、孔阵列、光栅机合、六边形蜂窝机合等，这些机合的特质是单个图形加工难度不高，可是面积较大导致加工本钱高，这个光阴咱们就能够通过制做纳米压印板子的格式来得回，并且纳米压印对本钱的操纵会特地好。

　　（3）曲面上的微纳米机合加工，咱们真切现有的光刻工夫险些都是基于平面衬底的加工，可是咱们正在实质操纵中往往会碰到须要正在球面或者柱面上加工少许微机合，这对待光刻来说，不光须要花很大的元气心灵去研发工装夹具，也须要很大的本钱去推敲工艺题目。可是跟着纳米压印工夫的发达，各家都有本身的软膜工夫，软膜能够正在少许曲率半径较大的衬底上做出微机合，也能够避开衬底上的少许颗粒缺陷等。此外，柔性衬底上的微机合加工也是纳米压印最大的上风之一。

　　跟着新颖生物与医疗工夫的发达，对微纳机合的需求日益增加，比方生物医学检测、DNA和RNA剪辑等，咱们来看下纳米压印工夫为生物与医疗新工夫供给的治理计划。

　　除此除外，纳米压印还能够用于石墨烯基纳米质料的制备，用来举行COVID-19病毒的检测；制作等离子芯片对血清举行便携式肿瘤生物传感，联合纳米印迹和微流体工夫；用于免疫剖释的光子晶体机合的制备；制作用于医疗即时诊断的微流体筑造等。

　　能够看出纳米压印工夫正在生物与医疗工夫规模大显技术，饰演着举足轻重的效率，跟着纳米压印筑造的运用，生物与医疗贸易化引申运用仍然正在途上了。

　　人们对显示的寻找是连续降低的。从好坏显示到彩色显示，从模仿显示到数字显示，从低阔别率到高阔别率，从平面显示（2D）到立体显示（3D），显示工夫暴露的恶果渐渐亲热于人眼最适合的观望恶果。古代的LED制作工夫仍然到达瓶颈，现正在纳米压印工夫能够供给更小单位机合LED及曲面机合显示器制作，从而制作下一代LED器件。

　　咱们真切AR眼镜的重点显示工夫光波导，因其浮薄和外界光泽的高穿透个性，而被以为是消费级AR眼镜的必选光学计划。光波导的酿成须要借助光栅，光栅的制作流程须要运用纳米压印工艺，先制制光栅的压印模具，这个模具能够通过纳米压印工夫压印出成千上万个光栅。纳米压印须要先正在玻璃基底（即波导片）上匀称涂上一层有机树脂，然后拿压印模具盖下来，用紫外线照耀固化，固化后再把模具提起来，波导上的衍射光栅就酿成啦。